آشکارساز پراش الکترون های برگشتی یکی از آشکارسازهای قابل نصب روی میکروسکوپ های الکترونی روبشی یا میکروسکوپ های الکترونی روبشی گسیل میدانی است، تا در این میکروسکوپ ها علاوه بر داشتن تصاویری از مورفولوژی سطح با دقت و وضوح بالا، امکان بررسی کمی و کیفی ریز ساختارها فراهم شود.

با استفاده از این آشکارساز میتوان اطلاعات دقیقی از ریز ساختارها به صورت آشکارسازی دانه ها، مرز دانه ها، زاویه ی آنها، میزان بلورشدگی و جهات بلورینگی، بررسی عیوب شبکه بلوری، تعیین مرزهای مقاوم در برابر ترک و خوردگی، بررسی بافت منطقه ای نمونه را بدست آورد. با استفاده از روش فوق می توان انواع فلزات، آلیاژها، سرامیک ها، کانی ها، پودرها، برخی از پلیمرها و غیره را مورد بررسی قرار داد، لذا در بسیاری از علوم و صنایع نظیر بلورشناسی، تجهیزات پزشکی، منابع انرژی، علم مواد، زمین شناسی و غیره می تواند به عنوان ابزاری بسیار قدرتمند مورد استفاده قرار گیرد.

همانگونه که می دانیم در میکروسکوپ های الکترونی از یک تفنگ الکترونی برای تولید پرتو الکترونی استفاده می شود، با برخورد پرتو الکترونی به سطح نمونه و عبور الکترون ها از درون نمونه و تفرق آنها به دو صورت الاستیک و غیرالاستیک میتوان علاوه بر بررسی موفولوژی سطح به اطلاعات بیشتری از نمونه دسترسی پیدا کرد.

در روش تحلیل پراش الکترون های برگشتی با بررسی الگوهای پراش (الگوهای پراش کیکوچی) حاصل از این تفرق ها و تجزیه و تحلیل آنها میتوان به بررسی دقیق ریز ساختارها پرداخت.

لذا با توجه به اهمیتی که این الگوهای پراش در نتایج این آشکارساز دارند، در ابتدا به طور مختصری در خصوص الگوی پراش، هندسه ی پراش و انواع الگوهای پراش و تجزیه و تحلیل آنها پرداخته می شود.

این مقاله در شماره 21 «فصلنامه تخصصی دانش آزمایشگاهی ایران»، بهار1397 منتشر شده است.