دستگاه رسوب شیمیایی بخار به کمک پلاسما
آزمایشگاه مربوطه :آزمایشگاه نانوالکترونیک و لایه نازک
خاصیت قابل اندازه گیری :فیزیکی , سایر
شماره تماس آزمایشگاه :88013201- 82084905
عنوان دستگاه :Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
زمینه های کاربردی :مهندسي , علوم پايه
محدودیت های دستگاه :برخی مواد مانند قلع و یا ترکیبات اکسیدی در صورت استفاده به سیستم صدمه می زنند
توضیحات:قابلیت بسیار بالا برای رشد نانولوله های کربنی
مورد قابل اندازه گیری با دستگاه
| مورد اندازه گیری شده | واحد اندازه گیری | دقت اندازه گیری |
|---|---|---|
| قابلیت لایه نشانی چند لایه | nm |
خدمات قابل ارایه با این دستگاه
| شرح خدمات | نحوه ارایه خدمات | هزینه خدمات (ریال) |
|---|---|---|
| لايه نشانی | توسط آزمايشگاه | 500000 |
زمان سرویس دهی با این دستگاه
| روز | ساعت شروع | ساعت پایان | توضیحات |
|---|---|---|---|
| شنبه | 8:30 | 17:30 | با هماهنگي قبلي |
| یکشنبه | 8:30 | 17:30 | با هماهنگي قبلي |
| دوشنبه | 8:30 | 17:30 | با هماهنگي قبلي |
| سه شنبه | 8:30 | 17:30 | با هماهنگي قبلي |
| چهارشنبه | 8:30 | 17:30 | با هماهنگي قبلي |
تجهیزات جانبی این دستگاه :
آخرین وضعیت دستگاه : آماده سرويس دهي
متخصصین دستگاه
| نام و نام حانوادگی | مرتبه علمی | شماره تماس |
|---|---|---|
| فاطمه صالحی | كارشناس | 88013201- 82084905 |