دستگاه زدایش یونی واکنش پذیر
تاریخ بروز رسانی : 1397/04/10
آزمایشگاه مربوطه :آزمایشگاه سامانه‌های ریز و بسیار ریز الکترومکانیکی
خاصیت قابل اندازه گیری :شیمیایی , بیولوژیک
شماره تماس آزمایشگاه :02161114903
عنوان دستگاه :Reactive Ion Etching
زمینه های کاربردی :مهندسي , بيوتكنولوژي
محدودیت های دستگاه :
توضیحات:
مورد قابل اندازه گیری با دستگاه
| مورد اندازه گیری شده | واحد اندازه گیری | دقت اندازه گیری |
|---|---|---|
| ضخامت لایه ی برداشته شده | µm | دهم میکرون |
خدمات قابل ارایه با این دستگاه
| شرح خدمات | نحوه ارایه خدمات | هزینه خدمات (ریال) |
|---|---|---|
| لایه برداری پلیمر و پلاستیک - پلاسمای اکسیژن - آرگون - هوا - هیدروژن | توسط آزمايشگاه | 700000 |
| Etching ( لایه برداری سیلیسیم) | توسط آزمايشگاه | 800000 |
| Plasma Bonding | توسط آزمايشگاه | 700000 |
زمان سرویس دهی با این دستگاه
| روز | ساعت شروع | ساعت پایان | توضیحات |
|---|---|---|---|
| شنبه | 9:00 | 18:00 | |
| یکشنبه | 9:00 | 18:00 | |
| دوشنبه | 9:00 | 18:00 | |
| سه شنبه | 9:00 | 18:00 | |
| چهارشنبه | 9:00 | 18:00 | |
| پنجشنبه | 9:00 | 18:00 |
تجهیزات جانبی این دستگاه : پمپ چرخشی, پمپ نفوذی
آخرین وضعیت دستگاه : آماده سرويس دهي
متخصصین دستگاه
| نام و نام حانوادگی | مرتبه علمی | شماره تماس |
|---|---|---|
| سیداحمدرضا فیروزابادی | پژوهشيار | 02161114903 |