دستگاه لایه نشانی تبخیر فیزیکی با پرتو الکترونی
تاریخ بروز رسانی : 1393/02/17
آزمایشگاه مربوطه :مرکز خدمات تخصصی میکروالکترونیک
سازمان مربوطه :جهاد دانشگاهی جهاد دانشگاهی واحد دانشگاه صنعتی شریف
خاصیت قابل اندازه گیری :فیزیکی
شماره تماس آزمایشگاه :66075156 - 66028194
عنوان دستگاه :Electron Beam physical Vapor Deposition
زمینه های کاربردی :مهندسي , علوم پايه
محدودیت های دستگاه :امکان لایه نشانی بر روی نمونه ای با قطر کمتر از 30 سانتیمتر وجود دارد
توضیحات:
مورد قابل اندازه گیری با دستگاه
| مورد اندازه گیری شده | واحد اندازه گیری | دقت اندازه گیری |
|---|---|---|
| ضخامت لايه نازك | nm | 1nm |
خدمات قابل ارایه با این دستگاه
| شرح خدمات | نحوه ارایه خدمات | هزینه خدمات (ریال) |
|---|---|---|
| هر بار لایه نشانی فلزات(به غیر از طلا) و دی الکتریک ها تا 200 نانومتر | توسط آزمايشگاه | 3.000.000 |
| هر بار لايه نشاني طلا از 5 نانومتر تا 100 نانومتر | توسط آزمايشگاه | 2.500.000 |
| براي هر 100 نانومتر لايه طلاي ضخيم تر | توسط آزمايشگاه | 500.000 |
زمان سرویس دهی با این دستگاه
| روز | ساعت شروع | ساعت پایان | توضیحات |
|---|---|---|---|
| شنبه | 7:45 | 16:00 | |
| یکشنبه | 7:45 | 16:00 | |
| دوشنبه | 7:45 | 16:00 | |
| سه شنبه | 7:45 | 16:00 | |
| چهارشنبه | 7:45 | 16:00 | |
| پنجشنبه | 0 | 0 | با هماهنگی |
تجهیزات جانبی این دستگاه : الكترون¬گان, دي سي مگنترون اسپاترينگ, ضخامت سنج كريستالي, گرمكن 100 تا 300 درجه سانتيگراد, نمونه گردان, تميزكاري پلاسمايي, تله سرد
آخرین وضعیت دستگاه : آماده سرويس دهي
متخصصین دستگاه
| نام و نام حانوادگی | مرتبه علمی | شماره تماس |
|---|---|---|
| مجید عین آبادی | كارشناس | 66075156 - 66028194 |