میکروسکوپ الکترونی محیطی(ESEM)
تاریخ مقاله :
1384/06/19
تعداد بازدید :
3983
نویسنده :
مهدي رنجبر
چکیده مقاله
ميكروسكوپ الكتروني محيطي نيز مانند تمامي انواع ميكروسكوپهاي الكتروني داراي يك منطقه خلأ براي توليد و متمرکز کردن پرتو الكتروني ميباشد كه هميشه در فشار كمتر از 10-9pa قرار دارد. بهعلاوه يك منطقه با فشار بالا (بيش از 60kpa) مورد نياز است كه البته اين دو ناحيه بايد به نحو مطلوب و توسط يك تكنيك ويژه از يكديگر مجزا گردند. اين كار يا توسط فيلمهاي پنجره عبور الكترون و يا توسط دريچههاي كوچك محدودكننده گاز فشار انجام ميپذيرد. در ESEM به دليل بهرهگيري از ولتاژهاي شتابدهنده بسيار پايينتر، فقط دريچه هاي محدودكننده به كار گرفته ميشود








