موضوع مقاله : تجهیزات

عنوان مقاله : کندوپاش و تاثیرات آن در آماده‌سازی نمونه‌ها

کندوپاش و تاثیرات آن در آماده‌سازی نمونه‌ها

تاریخ : 1396/03/30تعداد بازدید : 637

در دستگاه کندوپاش با تحریک گازی که در این فرآیند استفاده می‌شود (معمولا گاز آرگون) بین کاتد و آند پلاسمایی ایجاد می‌شود که موجب بمباران شدن سطح تارگت با استفاده از یون‌های گاز و فرسایش آن می‌گردد. این فرآیند کندوپاش نامیده می‌شود که در اثر آن، اتم‌هایی از سطح تارگت جدا می‌شود و این اتم‌ها روی سطوحی که در نزدیکی تارگت قرار دارند، می‌نشینند. یکی از موارد کاربرد فرآیند کندوپاش، آماده‌سازی نمونه‌ها برای گرفتن تصاویر با میکروسکوپ الکترونی است. با استفاده از این روش و با نشاندن لایه‌ای از یک فلز رسانا روی نمونه، هدایت الکتریکی در نمونه‌های غیرهادی و یا نیمه‌هادی برقرار شده، می‌توان تصویری مناسب از نمونه تهیه کرد که در این مقاله به بررسی این روش پرداخته می‌شود.
روش‌های متفاوتی برای به‌وجود آوردن لایه‌ای نازک روی نمونه در شرایط خلاء وجود دارد. یکی از این روش‌ها، روش تبخیر است که در آن، یک فلز رسانا تا دمای تبخیرش در خلاء بالا گرم می‌شود و اتم‌های فلز تبخیر شده روی سطح نمونه چگال می‌گردند. روش دیگری که می‌توان به آن اشاره کرد، روش کندوپاش است که در این روش، سطح فلز رسانایی که دارای بار منفی است با یون‌های مثبت در خلاء پایین بمباران می‌شود و اتم‌های کنده شده از سطح فلز، روی سطح نمونه چگال می‌گردند.

عواملی که در تشکیل لایه نازک روی نمونه تاثیرگذار هستند عبارتند از:
1. انرژی بستگی و انرژی برخورد ماده به کاربرده شده در تارگت؛
2. کمترین دمای مورد نیاز برای تبخیر تارگت؛
3. کمترین انرژی مورد نیاز برای تشکیل پدیده کندوپاش؛
4. میزان رسوب‌دهی فلز و دمای زیر لایه.

جهت دریافت نسخه کامل مقاله فایل پیوست را دریافت کنید.

میکروسکپ الکترونی