موضوع مقاله : تجهیزات

عنوان مقاله : چگونگی رفع اختلالات تصویری ایجاد شده در میکروسکوپ الکترونی روبشی

چگونگی رفع اختلالات تصویری ایجاد شده در میکروسکوپ الکترونی روبشی

تاریخ : 1396/01/31تعداد بازدید : 270

به‌طور خلاصه، دستگاه SEM ابزاری است که در آن، یک باریکه الکترونی متمرکز، سطح نمونه را در محیط خلأ روبش کرده و یک‌سری اطلاعات در مورد نمونه، شامل تصویر و آنالیز شیمیایی را ارائه می‌دهد. در اصل پس از برخورد باریکه الکترونی با سطح نمونه، سیگنال‌های برگشتی شامل الکترون‌های ثانویه الکترون‌های برگشتی ، طیف پرتو ایکس و دیگر سیگنال‌های مختلف هستند که نتیجه حاصل از الکترون‌های ثانویه و الکترون‌های برگشتی به صورت تصویری و نتیجه حاصل از طیف پرتو ایکس به صورت مجموعه‌ای از پیک‌های عناصر مختلف ارائه می‌شود.
با استفاده از تصاویر مربوط به الکترون‌های ثانویه می‌توان به اطلاعات کامل مربوط به توپوگرافی و مورفولوژی نمونه پی برد و از تصاویر مربوط به الکترون‌های برگشتی نیز می‌توان اطلاعات مربوط به توزیع فازها و ترکیبات شیمیایی موجود در نمونه را به‌دست آورد. همچنین از طریق بررسی طیف پرتو ایکس می‌توان به اطلاعات دقیق‌تر مربوط به ترکیب شیمیایی نمونه به‌صورت کیفی و کمی پی برد. لازم به ذکر است که تنها دانستن تئوری کار با این دستگاه به‌منظور رسیدن به نتیجه دلخواه کافی نبوده و برای رسیدن به هدف موردنظر، دانستن یک‌سری تجربیات در مورد رفع برخی اشکالاتی که در حین کار با دستگاه ایجاد می‌شود لازم و ضروری است.

جهت دریافت نسخه کامل مقاله فایل پیوست را دریافت کنید.

میکروسکپ الکترونی روبشی SEM